仪器名称：仪器化微/纳米压入/划入测试系统

型号： NHT2/MCT

性能指标：1、纳米压入系统：最小有效加载载荷0.1 mN，最大有效加载载荷500 mN，有效载荷分辨率40 nN，最小接触力1 uN，最大压痕深度≥200 um，位移分辨率0.004nm，位移信号稳定水平(或热漂移) 0.04 nm/sec。

2、微米压入/划入系统：压入载荷最大10N，最小有效加载载荷≤50mN，加载分辨率0.3mN，最大压入深度≥200um，压入深度分辨率0.3nm。划痕正向力最小载荷≤30mN，划痕正向力最大载荷30N，正向力分辨率0.3mN；最大摩擦力30N；摩擦力分辨率0.3mN，最大划痕深度1000um；位移分辨率0.3nm，最大划痕长度120mm，划痕速度0.4-600mm/min。

用      途：对于材料、薄膜或器件进行微/纳米压入/划入测试，可以测试压入硬度、弹性模量、蠕变、断裂韧性、弹性功、塑性功、存储模量、损耗模量、硬度及模量随样品深度变化等样品的各种力学参量，可以用于研究材料的疲劳特性等。

联 系 人： 陈瑶

联系电话：0512-67581872

放置地点：北校区工科楼120